Ko te 909 Project Very Large Scale Integrated Circuit Factory he kaupapa hanga nui o te ahumahi hiko o toku whenua i roto i te Mahere Tuaiwa-Rima Tau ki te whakaputa maramara me te whanui raina o te 0.18 microns me te diameter o te 200 mm.
Ko te hangarau whakangao o nga waahanga whakauru nui-nui kaore i te whakauru noa i nga hangarau-nui penei i te miihini miihini, engari he mea nui ano hoki nga whakaritenga mo te maa o te hau.
Ko te kohinga hau nui mo te Kaupapa 909 e whakaratohia ana e te mahi tahi i waenga i te Praxair Utility Gas Co., Ltd. o te United States me nga roopu whai mana i Shanghai ki te whakatu tahi i tetahi tipu hanga hau. Kei te taha o te wheketere kaupapa 909 te tipu hanga hau. whare, e hipoki ana i te waahi tata ki te 15,000 mita tapawha. Ko te ma me nga whakaritenga whakaputa o nga momo hau
Ko te hauota teitei (PN2), te hauota (N2), me te hāora teitei (PO2) ka puta mai i te wehenga o te hau. Ko te hauwai parakore teitei (PH2) ka hangaia e te hikohiko. Ko te Argon (Ar) me te helium (He) ka hokona mai i waho. Ka purea te quasi-gas me te tātari mo te whakamahi i roto i te Kaupapa 909. Ka tukuna te hau motuhake i roto i nga pounamu, kei roto i te awheawhe awhina o te tipu whakahiato arahiko whakauru.
Ko etahi atu hau kei roto ano hoki te punaha CDA hau maroke maroke, me te rahinga whakamahinga o te 4185m3/h, te toka toka o te -70°C, me te rahi matūriki kaua e neke ake i te 0.01um i roto i te hau i te waahi ka whakamahia. Pūnaha hau kōpeke manawa (BA), rōrahi te whakamahi 90m3/h, te hauhautanga pehanga 2 ℃, te rahi o te matūriki i roto i te hau i te waahi o te whakamahinga kaore i te nui ake i te 0.3um, te punaha whakangao (PV) tukanga, te rahinga whakamahi 582m3/h, tohu korehau i te waahi whakamahi -79993Pa. Te horoi i te punaha (HV), te whakamahi i te 1440m3 / h, te tohu korehau i te waahi whakamahi -59995 Pa. Ko te ruma o te hau me te ruuma pupuhi e rua kei roto i te waahi wheketere kaupapa 909.
Te kowhiringa o nga rawa paipa me nga taputapu
Ko te hau e whakamahia ana i roto i te hanga VLSI he tino nui nga whakaritenga mo te ma.Paipa hau parakore teiteiKo te tikanga ka whakamahia i roto i nga taiao whakangao ma, a kia rite to ratou mana ma ki runga ake ranei i te taumata ma o te waahi e whakamahia ana! I tua atu, he maha nga wa e whakamahia ana nga paipa hau parakore teitei i roto i nga taiao whakaputa ma. Ko te hauwai parakore (PH2), te hāora tino parakore (PO2) me etahi hau motuhake he mura ahi, he pahū, he hau whakawera, he paitini ranei. Mena kaore i tika te hoahoa o te punaha paipa hau, ka pohehe ranei te kowhiringa o nga rawa, ehara i te mea ka heke iho te ma o te hau e whakamahia ana i te waahi hau, engari ka taka hoki. Ka tutuki i nga whakaritenga o te tukanga, engari kaore i te haumaru ki te whakamahi, ka puta te parahanga ki te wheketere ma, ka pa ki te haumaru me te ma o te wheketere ma.
Ko te taurangi o te kounga o te hau parakore teitei i te waahi o te whakamahi ehara i te mea anake i runga i te tika o te hanga hau, nga taputapu purenga me nga whiriwhiringa, engari ka pangia ano e te maha o nga mea i roto i te punaha paipa. Mena ka whakawhirinaki tatou ki nga taputapu whakangao hau, nga taputapu purenga me nga whiriwhiringa He he noa te whakatau i nga whakaritenga tino tika hei utu mo te hoahoatanga o te punaha paipa hau, te kowhiri rawa ranei.
I roto i te tukanga hoahoa o te kaupapa 909, i whai matou i te "Waehere mo te Hoahoa o nga Tipu Maama" GBJ73-84 (ko te paerewa o naianei ko (GB50073-2001)), "Waehere mo te Hoahoa o nga Teihana Air Compressed" GBJ29-90, "Waehere mo te Hoahoa o nga Teihana Oxygen" GB50030-91 , "Waehere mo te Hoahoa o te Waiwai me te Oxygen Stations" GB50177-93, me nga tikanga hangarau e tika ana mo te kowhiringa o nga taputapu paipa me nga taputapu. Ko te "Waehere mo te Hoahoa o nga Tipu Maama" e kii ana i te kowhiringa o nga taputapu paipa me nga maareti penei:
(1) Mena he nui ake te maa o te hau, he rite ranei ki te 99.999%, ka iti ake te haupapa i te -76°C, 00Cr17Ni12Mo2Ti iti-waro putorino kowiri tira (316L) me te taiepa o roto o te whare hiko OCr18Ni9 ranei te paipa kowiri tira (304) me whakamahi te pakitara o roto i te hiko. Ko te takirere kia noho he diaphragm valve, he bellows valve ranei.
(2) Mena he nui ake te maa o te hau, he rite ranei ki te 99.99%, ka iti iho te haupapa i te -60°C, me whakamahi te OCr18Ni9 ngongo kowiri tira (304) me te taiepa o roto kua whakahiatohia. Haunga nga riu pupuhi me whakamahi mo nga paipa hau mura, me whakamahi nga reera poi mo etahi atu paipa hau.
(3) Mena he iti ake te haupapa o te hau maroke maroke i te -70°C, me whakamahi te OCr18Ni9 paipa kowiri tira (304) me te pakitara o roto orohia. Mena he iti ake te haupapa i te -40 ℃, me whakamahi te OCr18Ni9 paipa kowiri tira (304) me te putorino piauau wera ranei. Ko te takirere me waiho he paera pupuhi, he paera paoro ranei.
(4) Ko te rauemi takirere kia hototahi ki te rauemi putorino hono.
I runga i nga whakaritenga o nga whakaritenga me nga tikanga hangarau e tika ana, ka whakaarohia e maatau nga waahanga e whai ake nei i te wa e kowhiri ana i nga taonga paipa:
(1) Ko te uruhanga hau o nga rauemi putorino kia iti. Ko nga paipa o nga mea rereke he rereke te uruhanga hau. Mena ka kowhiria nga paipa nui ake te uruhanga o te hau, kaore e taea te tango i te parahanga. He pai ake nga paipa kowiri tira me nga putorino parahi ki te aukati i te kuhu me te pirau o te hāora ki te hau. Heoi, i te mea he iti ake te kaha o nga paipa kowiri tira i nga paipa parahi, he kaha ake nga paipa parahi ki te tuku i te makuku i roto i te hau kia kuhu ki roto i o raatau papa o roto. Na reira, i te wa e whiriwhiri ana i nga paipa mo nga paipa hau parakore teitei, ko nga paipa kowiri tira te mea tuatahi.
(2) Ko te mata o roto o te putorino ka uruhia me te iti o te paanga ki te tarai i te hau. I muri i te tukatuka o te putorino kowiri tira, ka mau tonu te nui o te hau ki roto i tana kupenga whakarewa. Ka pahemo te hau parakore nui, ka uru tenei wahanga o te hau ki roto i te rere o te hau ka puta te parahanga. I te wa ano, na te whakauru me te tātaritanga, ko te konganuku i runga i te mata o roto o te putorino ka whakaputa ano i etahi paura, ka paopao ki te hau parakore teitei. Mo nga punaha paipa paipa ki runga ake i te 99.999% te taumata ppb ranei, me whakamahi te 00Cr17Ni12Mo2Ti iti waro kowiri tira (316L).
(3) He pai ake te kakahu o nga putorino kowiri tira i era o nga putorino parahi, a, he iti ake te puehu whakarewa na te rere o te hau. Ka taea e nga awheawhe whakaputa me nga whakaritenga teitei ake mo te maemaa te whakamahi i te 00Cr17Ni12Mo2Ti iti waro kowiri tira putorino (316L) ranei OCr18Ni9 paipa kowiri tira (304), kore e whakamahia paipa parahi.
(4) Mo nga punaha paipa me te maa hau i runga ake i te 99.999% ranei nga taumata ppb, ppt ranei, i roto ranei i nga ruma ma me nga taumata ma o te hau o N1-N6 kua tohua i roto i te "Waehere Hoahoa Whare Maama", paipa ultra-ma raneiEP paipa ultra-mame whakamahi. Horoia te "ngongo ma me te mata o roto tino maeneene".
(5) Ko etahi o nga punaha paipa hau motuhake e whakamahia ana i roto i te mahi whakaputa he hau tino kino. Ko nga putorino i roto i enei punaha paipa me whakamahi paipa kowiri tira-atete ki te waikura hei paipa. Ki te kore, ka pakaru nga paipa na te waikura. Mena ka puta nga waahi kua pirau ki runga i te mata, kaua e whakamahia nga putorino maitai kore noa, nga putorino maitai paiherea ranei.
(6) Ko te tikanga, me paihere nga hononga paipa hau katoa. Mai i te mea ka pakaru nga putorino rino piauau i te paparanga piauau, kaore e whakamahia nga putorino maitai mo nga putorino i roto i nga ruma ma.
Ma te whai whakaaro ki nga mea o runga ake nei, ko nga paipa paipa hau me nga maareti kua tohua ki te kaupapa &7& e whai ake nei:
Ko nga paipa pūnaha hauota (PN2) parakore teitei he mea hanga mai i te 00Cr17Ni12Mo2Ti nga putorino kowiri tira iti-wao (316L) me nga pakitara o roto kua whakahiatohia, a ko nga paera he mea hanga ki te kowiri tira kowiri tira o nga mea kotahi.
Ko nga paipa pūnaha hauota (N2) he mea hanga ki te 00Cr17Ni12Mo2Ti iti-waro kowiri tira putorino (316L) ki te electropolished i roto taiepa, a ka hanga nga vaolo he kowiri tira tangihanga vaolo o te rauemi taua.
Ko nga paipa pūnaha hauwai (PH2) parakore teitei he mea hanga mai i te 00Cr17Ni12Mo2Ti iti-waro kowiri tira putorino (316L) ki te electropolished i roto taiepa, a ko nga vaolo he mea hanga ki te kowiri tira bellows vaolo o te rauemi taua.
Ko nga paipa o te punaha o te hāora (PO2) parakore teitei e hangaia ana i te 00Cr17Ni12Mo2Ti nga putorino kowiri tira iti-wao (316L) me nga pakitara o roto o te hiko, a ko nga paera he mea hanga mai i nga kowiri tira o te kowiri tira o nga mea ano.
Ko nga paipa punaha Argon (Ar) he mea hanga mai i te 00Cr17Ni12Mo2Ti nga putorino kowiri tira iti-wao (316L) me nga pakitara o roto kua whakahiatohia, me te whakamahi i nga kowiri tira kowiri tira o nga mea ano.
Ko nga paipa pūnaha helium (He) he mea hanga ki te 00Cr17Ni12Mo2Ti iti-carbon kowiri tira putorino (316L) ki electropolished i roto taiepa, a ka hanga nga vaolo he kowiri tira bellows vaolo o te rauemi taua.
Ko nga putorino punaha hau maroke maroke (CDA) he mea hanga mai i nga putorino kowiri tira OCr18Ni9 (304) me nga pakitara o roto kua whakakorikoria, a ko nga marere he mea hanga ki te kowiri tira kowiri tira o nga mea ano.
Ko nga putorino o te punaha hau (BA) he mea hanga mai i nga putorino kowiri tira OCr18Ni9 (304) me nga pakitara o roto kua whakakorikoria, a ko nga marere he mea hanga mai i nga kowiri tira kowiri tira o te mea ano.
Ko nga putorino o te punaha (PV) he mea hanga mai i nga putorino UPVC, a ko nga marere he mea hanga mai i nga riipene rerehua korehau i hangaia mai i te mea ano.
Ko nga putorino o te punaha horoi (HV) he mea hanga mai i nga putorino UPVC, a ko nga marere he mea hanga mai i nga rererererererere korehau i hangaia mai i te mea ano.
Ko nga paipa o te punaha hau motuhake he mea hanga katoa ki te 00Cr17Ni12Mo2Ti iti-waro kowiri tira putorino (316L) ki te electropolished i roto taiepa, a ko nga vaolo he mea hanga ki te kowiri tira bellows vaolo o te rauemi taua.
3 Te hanga me te whakaurunga o nga paipa
3.1 Ko te Wāhanga 8.3 o te “Waehere Hoahoa Whare Whare Maama” e whakatakoto ana i nga tikanga e whai ake nei mo nga hononga paipa:
(1) Ko nga hononga paipa me paiherea, engari ko nga putorino rino piauau wera-wera me miro. Ko nga mea hiri o nga hononga miro me u ki nga whakaritenga o te Upoko 8.3.3 o tenei whakaritenga.
(2) Ko nga putorino kowiri tira me hono e te argon arc fehokotaki me te reke fehokotaki'anga turanga fehokotaki'anga ranei, engari tiketike-pure hau pipelines me hono reke fehokotaki'anga kahore tohu i runga i te pakitara o roto.
(3) Ko te hononga i waenga i nga pipeline me nga taputapu me tutuki ki nga whakaritenga honohono o nga taputapu.I te whakamahi i nga hononga hose, me whakamahi nga ngongo whakarewa.
(4) Ko te hononga i waenga i nga pipelines me nga reera me whai ki nga ture e whai ake nei
① Ko nga mea hiri e hono ana i nga paipa hau parakore me nga reera me whakamahi i nga peera whakarewa, i nga ferrules rua ranei i runga i nga whakaritenga o te tukanga whakaputa me nga ahuatanga hau.
②Me polytetrafluoroethylene te mea hiri i te hononga miro, flange ranei.
3.2 E ai ki nga whakaritenga o nga whakaritenga me nga tikanga hangarau e tika ana, me pai te hono o nga paipa hau parakore teitei ka taea. Me karohia te reke reke tika i te wa e mahi ana. Me whakamahi nga ringaringa paipa, nga hononga kua oti ranei. Ko nga ringaringa putorino kia rite ki nga mea me te maeneene o roto o roto ki nga paipa. taumata, i roto i fehokotaki'anga, i roto i te tikanga ki te ārai i te hāora o te wahi fehokotaki'anga, kia whakaurua hau tiaki parakore ki te putorino fehokotaki'anga. Mo nga putorino kowiri tira, me whakamahi te whakahiato arc argon, me te hau argon o te purenga ano me whakauru ki roto i te putorino. Me whakamahi hononga miro, hononga miro ranei. I te wa e hono ana i nga flanges, me whakamahi nga ferrules mo nga hononga miro. Haunga nga putorino hāora me nga paipa hauwai, me whakamahi i nga kaera whakarewa, me whakamahi etahi atu putorino i nga putunga polytetrafluoroethylene. Ko te tono i te iti o te rapa silicone ki nga peeke ka whai hua ano. Whakanuia te paanga hiri. Me rite ano nga mahi ina mahia nga hononga flange.
I mua i te tiimata o te mahi whakaurunga, he tirohanga taipitopito o nga paipa,taputapu, marere, me era atu. Ko te pakitara o roto o nga putorino kowiri tira noa kia î i mua i te whakaurunga. Ko nga paipa, nga taputapu, nga maareti, me etahi atu o nga pipeline hāora me tino aukati i te hinu, me tino whakahekehia kia rite ki nga whakaritenga e tika ana i mua i te whakaurunga.
I mua i te whakaurunga o te punaha me te whakamahi, me horoi katoa te punaha paipa tuku me te tohatoha me te hau parakore teitei. Ehara tenei i te pupuhi noa i nga matūriki puehu i taka ohorere ki roto i te punaha i te wa o te whakaurunga, engari ka whai waahi whakamaroke i roto i te punaha paipa, ka tango i tetahi waahanga o te hau makuku e mau ana i te pakitara paipa tae noa ki te putorino.
4. Te whakamatautau pehanga paipa me te whakaae
(1) I muri i te whakaurunga o te punaha, 100% te tirotiro irirangi o nga paipa e kawe ana i nga wai tino paitini i roto i nga paipa hau motuhake ka mahia, a kaua e iti ake to raatau kounga i te Taumata II. Ko etahi atu paipa ka tukuna ki te tirotiro i te reo irirangi tauira, me te tauwehenga tirotiro tauira kaua e iti iho i te 5%, ko te kounga kia kaua e iti iho i te taumata III.
(2) I muri i te paahitanga o te tirotiro kore-kino, me whakahaere he whakamatautau pehanga. Hei whakarite i te maroke me te ma o te punaha paipa, kaua e mahia he whakamatautau pehanga waipēhi, engari me whakamahi he whakamatautau pehanga pneumatic. Me whakahaere te whakamatautau hau hau ma te hau hauota, hau kōpeke ranei e rite ana ki te taumata ma o te ruuma ma. Ko te pehanga whakamatautau o te paipa kia 1.15 nga wa te pehanga hoahoa, me te pehanga whakamatautau o te paipa korehau kia 0.2MPa. I te wa o te whakamatautau, me piki haere te pehanga me te piki haere. Ka piki te pehanga ki te 50% o te pehanga whakamatautau, mena karekau he rerekee, he rerenga ranei ka kitea, me whakanui tonu te pehanga i te taahiraa ma te 10% o te pehanga whakamatautau, me te whakapumau i te pehanga mo te 3 meneti i ia taumata tae noa ki te pehanga whakamatautau. . Whakapumautia te pehanga mo te 10 meneti, ka whakaitihia te pehanga ki te pehanga hoahoa. Ko te wa ka mutu te pehanga me whakatau kia rite ki nga hiahia o te kitenga turuturu. Ka whai tohu te kaihoko pahuka ki te kore he rerenga.
(3) I muri i te whakahaerenga o te punaha hauhau i te whakamatautau pehanga, me whakahaere ano he whakamatautau tohu mo te 24-haora kia rite ki nga tuhinga hoahoa, me te tere o te pehanga kia kaua e nui ake i te 5%.
(4) Whakamatau Leakage. Mo nga punaha pipeline reanga ppb me ppt, e ai ki nga whakaritenga e tika ana, kaua e kiia he rerenga he tohu, engari ka whakamahia te whakamatautau nui o te rerenga i te wa o te hoahoa, ara, ka mahia te whakamatautau nui o te rerenga i muri i te whakamatautau hau. Ko te pehanga te pehanga mahi, ka mutu te pehanga mo te 24 haora. He iti iho, he rite ranei ki te 50ppm te rerenga o ia haora. Ko te tataunga o te rerenga he penei:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
I roto i te tātai:
A-haora leakage (%)
P1-Te pehanga tino i te timatanga o te whakamatautau (Pa)
P2-Te pehanga tino i te mutunga o te whakamatautau (Pa)
T1-mahana tino i te timatanga o te whakamatautau (K)
T2-mahana tino i te mutunga o te whakamatautau (K)
Wā tuku: Tihema-12-2023